Équipement de semi-conducteurs et procédures de décontamination

BELFOR est à l’avant-garde de la décontamination et du rétablissement de l’équipement technique de tous genres, surtout après des événements de contamination causés par le feu, les inondations, l’infiltration d’eau, les déversements chimiques et autres. BELFOR utilise des procédures de décontamination, évalue et coordonne le transport de l’équipement de semi-conducteurs partout dans le monde, assurant ainsi aux clients que la procédure est sécuritaire et conforme à la réglementation en vigueur.

BELFOR possède les compétences nécessaires pour gérer les activités d’entretien préventif et correctif grâce au processus de décontamination dans les installations de semi-conducteurs, et rétablir les activités dès que possible après une crise.

BELFOR possède l’expérience nécessaire en décontamination d’équipement de semi-conducteurs « avant » et « arrière ». Grâce à diverses techniques, telles que la détection de gaz et l’analyse d’échantillons de surface, BELFOR peut identifier la source de contamination et procéder à la décontamination afin d’éliminer les contaminants dangereux de l’équipement et des outils.

Déclassement « FAB » aux installations de fabrication de plaquettes

BELFOR propose des services de déclassement « FAB » de plaquettes, notamment l’évaluation et la décontamination de tout l’équipement et des outils. En général, les services de décontamination comprennent :

• Évaluation de la contamination de l’équipement
• Décontamination de l’équipement
• Élimination, décontamination et rejet des conduites de refoulement primaire, tuyaux d’échappement, conduits, etc.
• Montage de l’équipement à partir de la salle de nettoyage
• Mise en boîte et transport de l’équipement
• Décontamination des installations     

Services de transport

L’équipement de semi-conducteurs contaminés pose un risque énorme pour la sécurité, et doit être traité comme des matières dangereuses. BELFOR peut évaluer et commencer la décontamination de l’équipement avant le déplacement de celui-ci, et fournir la documentation énonçant l’état de l’équipement aux transporteurs, aux autorités de réglementation du transport, et au destinataire de l’équipement.

Expérience exhaustive

BELFOR a participé à plusieurs projets de décontamination d’équipement de semi-conducteurs, ainsi qu’à des projets de rétablissement suite à des désastres « fab » de semi-conducteurs dans le monde entier. Nous avons de l’expérience avec l’équipement suivant :

• Systèmes planaires mécaniques chimiques (PMC)
• Systèmes de déposition de vapeurs chimiques (CVD, Inc., PECVD et SACVD)        
• Générateurs d’air chaud (nitrure, poly, oxyde)
• Panneaux de commande de gaz
• Implanteurs ioniques
• Systèmes de métrologie
• Systèmes de déposition de vapeur physique (DVP)
• Sécheuses avec essorage/rinçage
• Moteurs pas à pas
• Systèmes d’emballage de plaquettes
• Systèmes de soutien et services publics courants