零件除污

BELFOR 在台灣分公司有無塵設施，可對因接觸製程化學品/特殊氣體/研磨液/廢渣而受到污染的零件進行廣泛的精密除污淨化解決方案，並交還給客戶進行維修/翻新/處置或重製再利用。

我們的一些具體經驗包括以下工具/設備的部分：

• 化學機械研磨 (CMP) 系統
• 化學氣相沉積（CVD，包括 PECVD 和 SACVD）系統
• 高溫爐管（氮化物、多晶、氧化物）
• 離子植入機
• 物理氣相沉積 (PVD) 系統
• 步進曝光機
• 特氣分流閥組/箱 (VMB)
• 公用設施和支援系統
• 其他（請諮詢BELFOR台灣）

BELFOR 技術支援中心可以針對任何行業的各種獨特污染情況開發特定的除污淨化解決方案。